【教發中心－教學實作共享設備補助計畫】

教學實作共享設備補助計畫補助電機系及光電所共同採購「光罩曝光機」。傳統半導體元件曝光設備屬於貴重儀器，需要先進行專業訓練後才能使用。保養及使用費高，對於學生實驗課並不經濟。所採購UV LED 曝光設備，屬於小型、快速、容易使用之系統，透過實際操作示範教學，可將微米等級元件作光罩曝光，轉移光罩之圖案至實驗基板上。讓學生實際了解半導體微影製程的進行過程。

本計畫補助採購之UV LED光罩曝光機

半導體微影製程的流程示意圖

教務處活動花絮